محل منبع:
چین
نام تجاری:
KACISE
گواهی:
CE
شماره مدل:
KGD-MQ-537
ویژگی | مقدار |
---|---|
اصل تشخیص | NDIR |
گازهای تشخیص داده شده | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
محدوده اندازهگیری | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
تکرارپذیری | ±0.5% |
خطی بودن | ±1%F.S. |
حد تشخیص | 1ppm |
سنسور گاز مادون قرمز KGD - MQ - 537 بر اساس فناوری غیر پراکنده مادون قرمز (NDIR) است. این سنسور میتواند گازهایی مانند SiF4، CF4، SF6، NF3 و CO2 تولید شده در کاربردهای نیمههادی را با دقت اندازهگیری کند. این سنسور با ابعاد، فلنجها و پروتکلهای ارتباطی رایج از پیش تعیین شده در تجهیزات سازگار است. میتوان از آن برای تشخیص نقطه پایانی در فرآیندهای رسوبگذاری و تمیز کردن نیمههادیها و همچنین تشخیص ترمینال برای تمیز کردن محفظه استفاده کرد و به کاهش زمان تمیز کردن، کاهش هزینهها و افزایش تولید کمک میکند.
پارامتر | جزئیات |
---|---|
اصل تشخیص | NDIR |
گازهای تشخیص داده شده | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
محدوده اندازهگیری | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
تکرارپذیری | ±0.5% |
خطی بودن | ±1%F.S. |
حد تشخیص | 1ppm |
درخواست خود را به طور مستقیم به ما بفرستید