محل منبع:
چین
نام تجاری:
KACISE
گواهی:
CE
شماره مدل:
KGD-MQ-537
سنسور گاز مادون قرمز KGD-MQ-537 از فناوری مادون قرمز غیر پراکنده (NDIR) برای اندازه گیری دقیق گازها از جمله SiF4، CF4، SF6، NF3 و CO2 در کاربردهای نیمه هادی استفاده می کند. این سنسور با سازگاری با ابعاد تجهیزات رایج، فلنج ها و پروتکل های ارتباطی طراحی شده است، این سنسور برای تشخیص نقطه پایانی در فرآیندهای رسوب گذاری و تمیز کردن نیمه هادی ها و همچنین تشخیص ترمینال برای تمیز کردن محفظه، کمک به کاهش زمان تمیز کردن، کاهش هزینه ها و افزایش تولید ایده آل است.
| پارامتر | جزئیات |
|---|---|
| اصل تشخیص | NDIR |
| گازهای شناسایی شده | SiF4، CF4، SF6، NF3، CO2 |
| محدوده اندازه گیری | 1-264ppm (0-200mTorr) |
| تکرارپذیری | ± 0.5٪ |
| خطی بودن | ± 1٪ FS |
| حد تشخیص | 1ppm |
درخواست خود را به طور مستقیم به ما بفرستید